技術(shù)編號：8262521
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。薄膜晶體管是一種場效應(yīng)晶體管，其根據(jù)導(dǎo)電方式可分為耗盡型和增強型。為了采用同一種薄膜晶體管形成復(fù)合器件，需要一種閾值電壓可調(diào)的薄膜晶體管。通過調(diào)節(jié)薄膜晶體管的閾值電壓，使得薄膜晶體管能夠在耗盡型和增強型之間切換，從而擴展薄膜晶體管的應(yīng)用范圍。圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的一種雙柵薄膜晶體管的剖視圖。如圖1所示，雙柵薄膜晶體管10從下至上依次包括底柵電極11、襯底12、底柵絕緣層13、溝道層14，位于溝道層14上的頂柵絕緣層15、漏極16和源極18，以及位于頂柵絕緣層1...
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