技術(shù)編號(hào)：8284129
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 近年來(lái)，太陽(yáng)能電池在各種用途中受到關(guān)注。在太陽(yáng)能電池的制造工序中，有在半 導(dǎo)體基板的表面涂布擴(kuò)散材料的工序。這樣的太陽(yáng)能電池要求以低價(jià)且短生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間進(jìn) 行制造。 作為在涂布上述的擴(kuò)散材料的工序中可以使用的方法，已知通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂布來(lái)涂布 擴(kuò)散劑的方法（例如，參照專利文獻(xiàn)1)。 作為利用旋轉(zhuǎn)涂布的液狀物的涂布，在抗蝕劑涂布的領(lǐng)域中，已知旋轉(zhuǎn)涂布包含 抗蝕劑材料的涂布液的技術(shù)。旋轉(zhuǎn)涂布是能夠以高精度形成均勻膜厚的涂膜的技術(shù)，因此 在例如使用光刻技術(shù)的半導(dǎo)體元件...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。