技術(shù)編號：8311164
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。隨著現(xiàn)代微電子技術(shù)飛速發(fā)展，一門新興技術(shù)，微電子機械系統(tǒng)(MEMS，Micro-Electro-Mechanical-System)正在興起。MEMS技術(shù)將微電子技術(shù)和精密機械加工技術(shù)融合在一起，實現(xiàn)了微電子與機械一體化。MEMS技術(shù)具有微型化、性能穩(wěn)定、集成化、功耗低等優(yōu)點，故其已開始廣泛應用諸多領(lǐng)域。MEMS結(jié)構(gòu)，例如懸橋結(jié)構(gòu)、腔體結(jié)構(gòu)等，是MEMS領(lǐng)域中應用非常廣泛的一種結(jié)構(gòu)，它利用犧牲層釋放工藝形成。該工藝包括在襯底上方沉積犧牲氧化物層，然后對犧牲...
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