技術(shù)編號：8317407
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種MEMS壓力傳感器及其形成方法。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-ElectroMechanical System，簡稱MEMS)是一種獲取信息、處理信息和執(zhí)行操作的集成器件。微機(jī)電系統(tǒng)中的傳感器能夠接收壓力、位置、速度、加速度、磁場、溫度或濕度等外部信息，并將所獲得的外部信息轉(zhuǎn)換成電信號，以便于在微機(jī)電系統(tǒng)中進(jìn)行處理。常見的微機(jī)電系統(tǒng)包括溫度傳感器、壓力傳感器和濕度傳感器等。對于MEMS壓力傳感器來說，其尺寸更微小、且工藝...
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