技術(shù)編號：8324710
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 隨著平板顯示和光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，鈮靶市場需求量日益增加，由于在靶材的 使用過程中，管狀靶的利用率遠高于平面靶利用率，是其的2倍多，所以開發(fā)平面顯示和光 伏產(chǎn)業(yè)用大尺寸鈮管靶十分迫切。Nb205薄膜具有優(yōu)異的光學(xué)性能，其光學(xué)波導(dǎo)損耗小，在 波導(dǎo)型SHG(second-harmonicgeneration)器件中廣泛應(yīng)用。由于Nb205薄膜有較強的紫 外吸收能力，可用作紫外敏感材料的保護膜。由于Nb205薄膜折射率較高，與Si02等配合可 制備具有不同折射...
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