技術(shù)編號：8331952
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基于C-MEMS(CarbonMicro Electro Mechanical Systems，碳-微電子機(jī)械系統(tǒng))工藝制作的各種碳微納結(jié)構(gòu)及微納器件，在微型傳感器、微驅(qū)動器、微生化系統(tǒng)、微型電化學(xué)器件等領(lǐng)域，具有極高的應(yīng)用潛力和前景。碳-錫作為一種復(fù)合材料擁有良好的理論機(jī)械性能、化學(xué)穩(wěn)定性和電化學(xué)性能?，F(xiàn)有主流的制作碳基復(fù)合材料微結(jié)構(gòu)的微加工工藝均無法廉價(jià)高效地制作基于碳的復(fù)合材料微結(jié)構(gòu)。此外，由于非晶碳石墨化的條件比較苛刻，在1000°C下于一定的惰性...
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