技術(shù)編號：8353291
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical Systems,簡稱MEMS)是利用集成電路制造技術(shù)和微加工技術(shù)把微結(jié)構(gòu)、微傳感器，微執(zhí)行器、控制處理電路，甚至接口、通信和電源等制造在一塊或者多塊芯片上的微型集成系統(tǒng)。隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，利用MEMS技術(shù)制作的加速度傳感器和陀螺儀已廣泛用于汽車領(lǐng)域和消費電子領(lǐng)域，加速度傳感器和陀螺儀的基本結(jié)構(gòu)都包括一個可動質(zhì)量塊，大的可動質(zhì)量塊可以增加器件的靈敏度，減小噪聲干擾。MEMS用可動質(zhì)量塊的制備...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。