技術(shù)編號(hào)：8360617
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在現(xiàn)代的半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠內(nèi)，普遍采用自動(dòng)化的搬運(yùn)系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行晶圓等物料的搬運(yùn)活動(dòng)。而搬運(yùn)系統(tǒng)的搬運(yùn)天車按工廠的規(guī)模一般會(huì)使用幾十臺(tái)天車。常見(jiàn)的搬運(yùn)系統(tǒng)一般會(huì)出現(xiàn)選擇的天車搬運(yùn)線路過(guò)長(zhǎng)，有天車一直空跑等天車?yán)寐什桓叩那闆r。如何能協(xié)調(diào)好多臺(tái)天車提高天車的利用率，直接影響搬運(yùn)系統(tǒng)的生產(chǎn)效率及半導(dǎo)體工廠的生產(chǎn)效率。發(fā)明內(nèi)容為了克服搬運(yùn)系統(tǒng)多臺(tái)天車協(xié)調(diào)調(diào)度效率低的不足，本發(fā)明提供一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線搬運(yùn)系統(tǒng)多臺(tái)天車協(xié)調(diào)調(diào)調(diào)度方法，使天車可以安全進(jìn)行搬運(yùn)的同時(shí)，提高多臺(tái)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。