技術(shù)編號：8385872
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。到目前為止，利用執(zhí)行部件讓鏡傾斜的鏡裝置已為眾人所知曉。例如專利文獻I中公開有這樣的鏡裝置。該鏡裝置的執(zhí)行部件是壓電驅(qū)動式的，具有執(zhí)行部件本體和疊層在該執(zhí)行部件本體上的壓電元件。這樣的鏡裝置是通過在例如SOI基板等基板上形成其它層或者蝕刻該基板而形成的。在例如專利文獻I所公開的中，先在SOI基板上形成絕緣膜(例如氧化膜)，然后再在該絕緣膜上形成構(gòu)成壓電元件的下部電極層、壓電體層以及上部電極層。接著，通過形成規(guī)定形狀的掩膜來進行蝕刻而讓上部電極層和壓電體層變...
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