技術編號:8386068
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及,特別是,涉及基板裝置所具備的導電性圖案的形成技術。背景技術在TFT(Thin Film TranSistor,薄膜晶體管)面板的制造中,一般來說,在數(shù)據(jù)配線/端子部配線上層疊較厚的絕緣性保護膜(一般是有機樹脂膜)后,還在上層形成導電性膜(透明電極膜)的圖案。圖20示出通過包含如上述這樣的成膜/圖案形成工序的制造方法理應制造出的理想的TFT面板300的截面圖。另外,圖21示出從正上方俯視TFT面板300時的概要圖,圖22是將TFT面板300在圖2...
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