技術編號：8390880
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著半導體技術的發(fā)展，300mm硅片已經(jīng)逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來越嚴茍S自動化物料傳輸系統(tǒng)(Automated MaterialHandlingSystems，簡稱AMHS)作為連接各個制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日?凸顯出來。現(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。