技術編號：8408962
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。吸氣劑泵內部沒有活動部件，具有清潔無油、無高壓高頻、靜音運行、可長期工作、可多次使用等突出優(yōu)點，是獲得清潔超高真空的理想手段之一。并且，吸氣劑泵一經激活，可實現長期無源工作，是超高真空環(huán)境有效的長效維持手段。超高真空系統(tǒng)內部的主要殘氣成分為H2和CO，非蒸散型吸氣劑對這兩種氣體有著良好的吸附能力，吸附速率高、吸附容量大。在分子泵、離子泵等其它抽氣設備的抽氣能力接近極限時，吸氣劑泵是十分有效的后續(xù)抽氣手段，可在較短的時間內有效地進一步提升系統(tǒng)的真空度，并實現...
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