技術(shù)編號：8414067
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。現(xiàn)代的電子電路是由一個個分離的器件通過特定的電學(xué)通路連接起來的，因此在集成電路制造中必須能夠把半導(dǎo)體器件隔離開來，這些器件隨后還要能夠互連以形成所需要的特定的電路結(jié)構(gòu)。目前半導(dǎo)體器件之間的互連線一般為金屬等，隨著集成電路的發(fā)展，集成電路的規(guī)模越來越大，也就是說越來越多的器件需要進(jìn)行互連，因此在集成電路的制造中需要越來越多的層次來實現(xiàn)互連，這樣就會使集成電路的面積越來越大。因此如何找到，以減小各部分連接所用到的層次，進(jìn)而減小電路的面積成為本領(lǐng)域技術(shù)人員致力于...
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