技術(shù)編號(hào)：8417648
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明基板定向腔室領(lǐng)域本發(fā)明的實(shí)施方式一般涉及半導(dǎo)體處理設(shè)備。置量集成多個(gè)腔室的多腔室半導(dǎo)體制造系統(tǒng)被使用于處理基板，以制造半導(dǎo)體裝置。在多腔室制造系統(tǒng)中，使用傳輸機(jī)器人在相關(guān)的腔室之間傳輸基板。該系統(tǒng)可以包括定向腔室，該定向腔室從機(jī)器人接收在可轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)座上的基板，并檢測在該臺(tái)座上的基板的位置和方向，以便于在處理參數(shù)范圍內(nèi)將基板放置在隨后的腔室中。一些定向腔室使用光源和光接收單元來進(jìn)行基板的邊緣檢測。該光源照亮基板的一部分外周。其中一些光被基板阻擋而無法到...
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