技術(shù)編號(hào)：8421813
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及激光照射方法和激光照射模塊，更明確地說(shuō)，涉及能夠?qū)崟r(shí)地校準(zhǔn)激 光強(qiáng)度的激光照射方法和激光照射模塊。背景技術(shù) 圖1是用于解釋典型激光熱處理設(shè)備的示意圖。參看圖1，石英窗20安裝在反應(yīng) 室10的頂表面上，且激光照射器40安裝在石英窗20的頂表面上。從激光照射器40輸出 的激光41穿過(guò)石英窗20,且照射在反應(yīng)室10中的襯底S上。 雖然未圖示，但激光照射器40包含激光振蕩器，輸出激光；氣體供應(yīng)器，向激光 振蕩器供應(yīng)氣體；衰減器，安裝在從激光振蕩器輸出的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。