技術(shù)編號:8426277
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 隨著薄膜太陽能電池及液晶顯示器的大規(guī)模應(yīng)用與普及,作為其透明電極的銦摻 雜氧化錫(IT0)透明導(dǎo)電薄膜進入實用化階段,IT0薄膜同時具有較低的電阻率與高的可 見光透射率,并具有良好的穩(wěn)定性,是透明導(dǎo)電薄膜的首選材料,但銦屬于貴金屬元素,其 原料價格隨著近些年的大規(guī)模開采與使用逐年提升,導(dǎo)致IT0成本居高不下。鋁摻雜氧化 鋅薄膜(AZ0)以其接近IT0薄膜的光學(xué)電學(xué)性能與極其低廉的成本,成為替代IT0薄膜作為 透明電極的最優(yōu)選擇。原子層沉積技術(shù)(ALD)作...
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