技術(shù)編號：8432215
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體加工設(shè)備是應(yīng)用比較廣泛的加工設(shè)備，主要通過等離子體對基片等的被加工工件進(jìn)行鍍膜、刻蝕等工藝。在半導(dǎo)體設(shè)備中，往往需要借助傳輸系統(tǒng)將未進(jìn)行工藝的被加工工件傳入至反應(yīng)腔室內(nèi)，以及將完成工藝的被加工工件傳出反應(yīng)腔室。圖1為現(xiàn)有的傳輸系統(tǒng)中機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖。請參閱圖1，傳輸系統(tǒng)包括機(jī)械手11。其中，在機(jī)械手11的上表面上設(shè)置有至少三個小凸起12，至少三個小凸起12的頂端用于承載被加工工件S，而且，每個小凸起12采用橡膠或者石英材料制成，且每個小凸起12的直...
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