技術(shù)編號：8444716
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 基于聲表面波技術(shù)的加速度傳感器相對于其他類型如壓阻式加速度傳感器、電容 式加速度傳感器而言具有高靈敏度、制作成本低、抗振動能力好、使用壽命長、環(huán)境適應(yīng)性 強以及良好的穩(wěn)定性和與可靠性等特點。SAW加速度傳感器結(jié)構(gòu)形式很多，推拉式、套筒式 和懸臂梁式是三種常見的結(jié)構(gòu)設(shè)計。其中，推拉式結(jié)構(gòu)雖然結(jié)構(gòu)可靠但加工難度很大，套筒 式結(jié)構(gòu)難以兼顧最小敏感兩和最大量程的要求，而懸臂梁式結(jié)構(gòu)簡單易于加工，且具有較 高的加速度靈敏度（文獻1 劉駿躍，聲表面波慣性器件傳感檢測...
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