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      壓印裝置、壓印方法和制造物品的方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):8445052

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      壓印技術(shù)是能夠轉(zhuǎn)印納米級(jí)微型圖案的技術(shù),并且在日本專利N0.4185941中被作為用于半導(dǎo)體器件和磁性存儲(chǔ)介質(zhì)的批量生產(chǎn)的納米光刻技術(shù)提出。在使用壓印技術(shù)的壓印裝置中,基板上的樹脂(壓印材料)在具有其上形成了圖案的圖案區(qū)的模具抵壓樹脂時(shí)固化,并且通過(guò)使模具從固化的樹脂脫離來(lái)將所述圖案轉(zhuǎn)印到基板上。該壓印裝置采用逐一模子(die-by-die)對(duì)準(zhǔn)方法作為對(duì)準(zhǔn)(定位)模具和基板的方法。逐一模子對(duì)準(zhǔn)方法是這樣一種對(duì)準(zhǔn)方法,該方法光學(xué)地檢測(cè)形成在基板上的多個(gè)壓射...
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