技術(shù)編號：8460963
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電磁旋轉(zhuǎn)裝置和具備該電磁旋轉(zhuǎn)裝置的真空泵，特別是涉及通過使用磁力軸承裝置的電磁鐵線圈對再生時的功率進行消耗來謀求小型化、成本降低的電磁旋轉(zhuǎn)裝置和具備該電磁旋轉(zhuǎn)裝置的真空泵。背景技術(shù)伴隨著近年來的電子學(xué)的發(fā)展，存儲器、集成電路等半導(dǎo)體的需要急劇地增大。這些半導(dǎo)體是向純度極高的半導(dǎo)體基板摻雜雜質(zhì)以提供電性質(zhì)或者在半導(dǎo)體基板上形成微小的電路圖案而對其進行層疊等來制造的。而且，為了避免由空氣中的塵土等造成的影響，需要在高真空狀態(tài)的腔室(chamber)內(nèi)...
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