技術(shù)編號:8472210
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及光學(xué)掃描系統(tǒng),具體涉及一種旋轉(zhuǎn)雙棱鏡和正交偏擺光學(xué)平板集成的 高精度光學(xué)掃描裝置。背景技術(shù) 旋轉(zhuǎn)雙棱鏡作為一種典型的光束掃描裝置,具有結(jié)構(gòu)緊湊,轉(zhuǎn)動慣量小,動態(tài)性能 好等特點(diǎn),可以廣泛應(yīng)用于激光通信、微結(jié)構(gòu)加工、生物醫(yī)學(xué)、軍事武器等領(lǐng)域。通過旋轉(zhuǎn)雙 棱鏡可以實(shí)現(xiàn)光束的高精度定位。在先技術(shù)(云茂金等專利,專利號200310108487. 7)提 到旋轉(zhuǎn)雙棱鏡用于激光通信領(lǐng)域時,精度可以達(dá)到毫弧度量級。由于棱鏡在安裝時會產(chǎn)生 安裝誤差,如棱鏡傾斜或...
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