技術(shù)編號：8476312
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明涉及一種聚氨酯支撐墊（pad)的制備方法，更具體而言，涉及一種聚氨酯 支撐墊的制備方法，其中墊片在其內(nèi)部均勻地形成有長且大的孔，并且具有低硬度、優(yōu)異的 壓縮率、和高彈性模量（elastic modulus)，從而可實現(xiàn)更均勾和高效率的拋光效果。背景技術(shù) 在要求高集成度的半導體設備或顯示器設備中所使用的基板，由于其需要具備微 細且精密的表面，因此采用了各種各樣的平整化方法。特別地，隨著半導體設備或顯示器設 備高集成化和高性能化的趨勢，通常采用如下拋光...
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