技術(shù)編號(hào)：8476560
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種用于獲得被測(cè)物體的表面形貌的光學(xué)測(cè)量方法。為此，提供一種 測(cè)量裝置，所述測(cè)量裝置具有位于測(cè)量頭導(dǎo)向裝置上的測(cè)量頭，以獲得表面形貌。背景技術(shù) 從公開DE10 2008 041 062Al中得知一種用于測(cè)量表面的測(cè)量裝置。已知的測(cè) 量裝置產(chǎn)生測(cè)量光束，測(cè)量光束在穿過三個(gè)分開的聚焦光學(xué)元件之后入射到物體的表面， 被物體反射，然后與干涉迭加的參考光一起被空間分辨光探測(cè)器檢測(cè)。 為了實(shí)現(xiàn)這個(gè)目的，已知的測(cè)量裝置具有包括至少三個(gè)分開的聚焦光學(xué)元件的光 ...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。