技術(shù)編號：8476798
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。微機電系統(tǒng)(MEMS)可以被用于產(chǎn)生可變電容器。具體來說，例如如圖1a所示，可變電容器I可以包括基底10，其上面可以定位有一個或多個固定驅(qū)動電極(actuat1nelectrode) 11和一個或多個固定電容電極(capacitive electrode) 12?；顒硬考?0可以懸在基底10的上方，活動部件20的任一端相對于基底10固定?；顒硬考?0可以包括一個或多個可動驅(qū)動電極21和一個或多個可動電容電極22。在該配置中，通過控制固定驅(qū)動電極11和可動驅(qū)...
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