技術編號：8488833
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。氮化物材料作為制造發(fā)光器件的材料，是眾所周知的。利用氮化物材料的發(fā)光器件主要具有其中在諸如藍寶石的基板上依序疊置由GaN晶體制成的緩沖層、由η型GaN晶體制成的η型摻雜層、由InGaN制成的有源層以及由ρ型GaN制成的ρ型摻雜層的結(jié)構。而且，在一個金屬有機化學汽相淀積設備室中依序疊置這些層。然而，用于各個層的溫度條件不同，且為了滿足溫度條件，每次在各個層生長時，都要有效控制溫度條件。而且，如果在襯托器上固定多個晶片并執(zhí)行工藝時，襯托器的整個區(qū)域的溫度均勻性...
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