技術(shù)編號(hào):8497879
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種基于環(huán)路徑向剪切干涉術(shù)(CRSI,CyclicRadialShearing Interferometry)和偏振相移技術(shù)進(jìn)行光束或光學(xué)元件產(chǎn)生的波前檢測(cè)的,特別 是一種非共光路環(huán)路徑向剪切偏振相移干涉儀。背景技術(shù) 基于干涉原理測(cè)量波前相位的波前傳感器,由于其空間分辨率高、測(cè)量精度高而 受廣泛關(guān)注。典型的干涉型波前傳感器有哈特曼傳感器、剪切干涉儀、點(diǎn)衍射干涉儀等。 哈特曼傳感器是采用微透鏡陣列對(duì)入射光束進(jìn)行斜率測(cè)量,并根據(jù)測(cè)量出的波前 相位梯...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。