技術(shù)編號(hào)：8499275
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明設(shè)及氣體擴(kuò)散領(lǐng)域，更具體的說(shuō)，設(shè)及一種PN結(jié)的擴(kuò)散方法、氣體擴(kuò)散裝 置和晶體娃太陽(yáng)能電池片。背景技術(shù)[000引在當(dāng)今的晶娃太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)工藝中，電池片PN結(jié)的擴(kuò)散方式一般有S種 1、噴涂磯酸水溶液后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散；2、絲網(wǎng)印刷磯漿后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散；3、=氯氧磯或漠化 棚氣態(tài)擴(kuò)散。 其中=氯氧磯氣態(tài)擴(kuò)散是目前最為主要的擴(kuò)散方式。 具體如圖1所示，娃片1位于石英管2內(nèi)的承載臺(tái)3上，S氯氧磯任0化3)液態(tài)源 擴(kuò)散用到的工藝氣體為氧氣（〇2)、氮?dú)猓ㄔ摰獨(dú)庖话懔髁枯^...
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