技術(shù)編號(hào):8499281
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 與非晶娃薄膜晶體管(a-SiTFT)相比,低溫多晶娃薄膜晶體管(LTPSTFT)技術(shù) 具備諸多優(yōu)點(diǎn),如遷移率很高,可達(dá)lO-lOOcmVVs左右,同時(shí)可W在低溫條件下制備(低于 600°C),基底選擇靈活,是目前唯一和柔性顯示技術(shù)相兼容的主動(dòng)層制備技術(shù)。但是此技術(shù) 目前采用的是線狀激光束掃描,利用掃描過(guò)程中相鄰掃描線上的溫度差來(lái)生產(chǎn)多晶娃。該 種方法雖然可W產(chǎn)生較均勻的多晶娃薄膜,但是掃描速度慢,限制了大面積顯示器的制備, 同時(shí)生產(chǎn)效率較低,增加了生產(chǎn)成...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。