技術(shù)編號(hào)：8547511
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 歷來(lái)，作為在電子元件中使用的高折射率膜、高介電膜等固化膜，使用了氧化硅、 氮化硅那樣的硅質(zhì)膜。作為這樣的硅質(zhì)膜的形成方法，可使用PE-CVD那樣的化學(xué)氣相沉積 法以及將包含含硅樹(shù)脂的組合物進(jìn)行涂布并且進(jìn)行加熱固化的方法。而且，出于改善這樣 的固化膜的物性或者改良折射率的目的，正在進(jìn)行著將金屬氧化物分散于含硅的樹(shù)脂中的 研宄。 這樣的含金屬氧化物的樹(shù)脂一般通過(guò)將金屬氧化物分散于樹(shù)脂而制造。此處金 屬氧化物可通過(guò)各種方法來(lái)合成，但一般通過(guò)以金屬烷氧基化合物為...
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