技術(shù)編號:8556494
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明設(shè)及微結(jié)構(gòu)加工及微結(jié)構(gòu)面形質(zhì)量檢測,特別設(shè)及一種XYZ-0 四維掃描探針微形貌測量系統(tǒng)。背景技術(shù) 隨著精密加工技術(shù)的發(fā)展,各種微結(jié)構(gòu)器件不斷出現(xiàn),該些微結(jié)構(gòu)器件通常具有 復(fù)雜的面形幾何特征,具體表現(xiàn)為垂直側(cè)壁、睹峭斜坡、尖端銳角等。在測量具有復(fù)雜面形 特征的微結(jié)構(gòu)表面形貌時,測量結(jié)果中樣品形貌失真和噪聲干擾是當前精密形貌測量亟待 解決的技術(shù)難題。 精密形貌測量技術(shù)主要包括非接觸式測量和接觸式測量兩大類。 非接觸式測量主要包括基于光學的共聚焦和自聚焦...
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