技術(shù)編號(hào)：8556574
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 顯微紅外熱像儀是一種非接觸顯微測(cè)溫裝置，可W用于半導(dǎo)體器件和巧片的溫度 測(cè)量，在半導(dǎo)體行業(yè)有著重要應(yīng)用。 常見(jiàn)的顯微紅外熱像儀典型結(jié)構(gòu)如圖5所示，被測(cè)器件搭載在控溫平臺(tái)上，其發(fā) 射出的紅外福射經(jīng)顯微紅外光學(xué)系統(tǒng)投射在紅外探測(cè)器上，紅外探測(cè)器將紅外福射信號(hào)轉(zhuǎn) 換為電信號(hào)，最后計(jì)算機(jī)對(duì)電信號(hào)進(jìn)行分析處理，得到溫度數(shù)據(jù)。 常見(jiàn)顯微紅外熱像儀的測(cè)溫功能可W分為成像測(cè)溫與瞬態(tài)測(cè)溫兩種。其中瞬態(tài)測(cè) 溫能夠捕捉特定區(qū)域的溫度高速變化，通常用于測(cè)量脈沖工作器件的溫度變化...
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