技術(shù)編號(hào):8561698
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。近年來(lái)隨著集成電路制造工藝和微機(jī)械加工工藝的發(fā)展,以這兩種制作工藝為基礎(chǔ)的微機(jī)械傳感器的到了快速的發(fā)展。微機(jī)械傳感器以其體積小、重量輕、功耗小、成本低、易集成、過(guò)載能力強(qiáng)和可批量生產(chǎn)等特點(diǎn),迅速占領(lǐng)了各種傳感器領(lǐng)域,例如微機(jī)械加速度傳感器等。目前,隨著對(duì)微機(jī)械位移傳感器性能要求的提高,特別是中高精度位移傳感應(yīng)用需求的不斷擴(kuò)展,與光學(xué)測(cè)量和微光學(xué)技術(shù)相結(jié)合的高精度微光機(jī)位移傳感器的研宄成為了一個(gè)重要發(fā)展方向。在現(xiàn)有的報(bào)到中位移傳感器主要分為電感式位移傳感器,...
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