技術(shù)編號：8574599
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。真空鍍膜機(jī)用于在真空中對工件鍍膜，真空鍍膜機(jī)包含構(gòu)成于工件的加工腔體的真空室，真空室內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)架裝置，該轉(zhuǎn)架裝置可以通過驅(qū)動裝置驅(qū)動轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)工件的轉(zhuǎn)動?，F(xiàn)有的PVD真空鍍膜真空室結(jié)構(gòu)為原型或者多邊形。底部結(jié)構(gòu)為平底。轉(zhuǎn)架一般直接安裝在真空室平底上，進(jìn)行轉(zhuǎn)動。需要加工的工件安置在轉(zhuǎn)架上，被轉(zhuǎn)架帶動進(jìn)行自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)。因為轉(zhuǎn)架結(jié)構(gòu)是安裝在真空室平底上，轉(zhuǎn)架本身的傳動結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，所以它需要一定的高度來安裝這些傳動結(jié)構(gòu)。由于被加工的工件是放置在轉(zhuǎn)架上的，所以工件...
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