技術(shù)編號(hào)：8578136
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。常見使用于顯示器的玻璃基板，其于顯示器制造中某些制程，如曝光、涂布、測(cè)長、貼合制程等，會(huì)因玻璃基板本身的溫度不正確或是溫度不均，使得基板產(chǎn)生熱脹冷縮現(xiàn)象而產(chǎn)生尺寸偏差、導(dǎo)致制程良率下降的問題。因此于前述對(duì)于溫度變化較敏感的制程，會(huì)特別關(guān)切玻璃基板本身的均溫性以及溫度正確性，常見顯示器制程設(shè)定溫度為23°C ;且要求于上述制程中，玻璃本身的溫度誤差需控制在±0.2或±0.1°C以內(nèi)；目前對(duì)玻璃均溫習(xí)用的作法為對(duì)玻璃本身吹送一經(jīng)過溫控的清凈空氣，此空氣對(duì)基板的...
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