技術(shù)編號:8617683
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。藍寶石單晶具有優(yōu)異綜合性能,被廣泛應(yīng)用于許多特殊領(lǐng)域。尤其因其具有獨特的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學(xué)性能、良好的熱學(xué)性能,使藍寶石晶體成為實際應(yīng)用的半導(dǎo)體GaN/Al2O3發(fā)光二極管(LED),大規(guī)模集成電路SOI和SOS及超導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)薄膜等最為理想的襯底材料。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,對藍寶石單晶的品質(zhì)與尺寸提出了更高的要求。而藍寶石單晶生長設(shè)備結(jié)構(gòu)合理是生長高品質(zhì)、大尺寸藍寶石單晶的前提條件。只有溫場合理,才有可能有效控制晶體徑向和軸向的溫度梯度,生長出形狀理想、內(nèi)...
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