技術(shù)編號(hào)：8639235
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。曝光機(jī)即電子束曝光機(jī)是集電子光學(xué)、電氣、機(jī)械、真空、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。在計(jì)算機(jī)的控制下，利用聚焦電子束對(duì)有機(jī)聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進(jìn)行曝光，受電子束輻照后的光刻膠，其物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上形成精細(xì)圖形。通常，曝光機(jī)照度調(diào)節(jié)采用手動(dòng)調(diào)節(jié)的方式。具體調(diào)節(jié)過程是測(cè)試曝光照度，根據(jù)測(cè)試結(jié)果調(diào)整光照度不符合要求的區(qū)域?qū)?yīng)的狹縫的寬度，重新測(cè)試曝光照度，如該區(qū)域的曝光照片仍不符合要...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。