技術編號：8652951
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。點測機是一種用于集成電路、LED晶圓、二極管晶圓等半導體電性測試設備。點測機測試電性是半導體制造工藝當中的一個不可或缺的工序，近年來，隨著光電，半導體產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，高集成和高性能的半導體晶圓需求也越來越大，在晶圓大批量生產(chǎn)中，往往在一片晶圓同時制作成百上千個芯片，通過點測機進行晶圓切割前的電性測試。隨著技術的發(fā)展，晶圓的尺寸也越來越大，同時一片晶圓內(nèi)所集成的芯片也越來越多，這就需要更多的測試時間來完成一片晶圓的測試。傳統(tǒng)的測試方式是使用I臺點測機+測試儀...
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