技術(shù)編號(hào):8660513
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。立式長(zhǎng)晶法是生長(zhǎng)砷化鎵單晶的一種技術(shù)。其主要特點(diǎn)是將砷化鎵多晶放在PBN坩禍內(nèi),再放在石英管內(nèi)抽真空后密封,然后再立式長(zhǎng)晶單晶爐內(nèi)生長(zhǎng)單晶。單晶爐內(nèi)襯有石英材料制造的襯管,又稱為爐膛。前述石英管即裝入襯管內(nèi),并在石英管下面設(shè)置支撐材料。為保持石英管垂直度,在襯管和石英管最上部用保溫毯隔開(kāi),并在爐體上部用保溫毯保溫。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種立式長(zhǎng)晶單晶爐用的爐口堵頭,其放在立式長(zhǎng)晶單晶爐上部端口,可以增加爐體上部端口保溫性,保證爐內(nèi)熱場(chǎng)均勻,并...
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