技術(shù)編號：8673847
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。手套箱廣泛應(yīng)用于鋰電、核能、醫(yī)學(xué)以及化學(xué)化工等各種行業(yè)?，F(xiàn)有OLED、或OPV等有機(jī)及光伏研宄，及一些半導(dǎo)體研宄與生產(chǎn)中，很多工藝工程需要在無水、無氧、無塵等環(huán)境中進(jìn)行，也就是在手套箱中或真空設(shè)備中進(jìn)行，這研宄中用的很多基材，如ITO玻璃、硅片等，需要多遍清洗，包括濕法清洗、干法清洗，干法清洗主要有等離子清洗和紫外臭氧清洗。而目前沒有適合手套箱應(yīng)用的紫外臭氧清洗機(jī)，現(xiàn)有的紫外臭氧清洗機(jī)要么體積大無法放入手套箱，只能在外邊使用，無法避免清洗完傳遞到手套箱過程...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。