技術(shù)編號(hào)：8728796
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。電子化學(xué)氣體是電子工業(yè)中超大規(guī)模集成電路微細(xì)加工過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料，主要用于外延、刻蝕和腐蝕等工藝；電子化學(xué)氣和高純氣的純度和潔凈直接影響集成電路的成品率和可靠性。瓶裝高純氣體在輸送過程中仍會(huì)產(chǎn)生污染，使氣體的純度降低，這對(duì)于某些領(lǐng)域是不允許的，如單晶硅的拉制，半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路的研制和生產(chǎn)等。硅烷生產(chǎn)與產(chǎn)品包裝的質(zhì)量至關(guān)重要，必須控制對(duì)電子廠工藝影響的每一個(gè)環(huán)節(jié)。超純硅烷的純化與灌裝技術(shù)直接影響其產(chǎn)品質(zhì)量，現(xiàn)有技術(shù)中一般先將硅烷氣體裝在密封罐...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。