技術(shù)編號：8746039
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。加熱器是熱相關(guān)氣體傳感器和熱輻射型紅外光源的關(guān)鍵部件之一?；贛EMS(Micro-Electro-Mechanical System,微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)制造的微型加熱器由于其低功耗、低成本、小體積和批量制造的特點(diǎn)，具有很高的性價比。MEMS微加熱器上覆蓋金屬氧化物半導(dǎo)體和電極即構(gòu)成金屬氧化物半導(dǎo)體式氣體傳感器；對于金屬鉑材料構(gòu)成的加熱電阻絲，由于其本身便具有一定的氣敏特性，在其上覆蓋一層催化劑材料，則構(gòu)成催化燃燒式氣體傳感器；在微加熱器上制作一層高輻射率材...
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