技術(shù)編號：8769899
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 相移干涉儀在光學(xué)車間檢測中得到廣泛的應(yīng)用。相移干涉儀采集三幀或三幀以上 具有一定相移量的干涉圖，通過相移算法計算得到被測元件的面形信息。目前實現(xiàn)相移的 主要方法有壓電陶瓷相移法和波長調(diào)諧相移法。壓電陶瓷相移法將被測元件（或者干涉系 統(tǒng)的參考元件）固定在壓電陶瓷上，通過壓電陶瓷的伸縮來改變干涉光束的相位差，從而 實現(xiàn)相移。壓電陶瓷相移法通常需要三個壓電陶瓷同步精確相移，因此結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，成本較 高。波長調(diào)諧相移法是通過改變波長，從而使參考面和測試面之間的光程...
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