技術(shù)編號：8800145
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。生產(chǎn)氮化硼制品的工藝中需要使用到氣相沉積爐，常規(guī)的氣相沉積爐一般采用旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)使模具在爐體內(nèi)部進(jìn)行公轉(zhuǎn)，在加熱的條件下進(jìn)行氣相沉積，而由于只能夠進(jìn)行公轉(zhuǎn)，使得模具和產(chǎn)品的受熱不夠均勻，在氣相沉積過程中容易產(chǎn)生殘次品，造成氮化硼制品的質(zhì)量不穩(wěn)定。所以，需要設(shè)計出一種能夠?qū)⒛＞哌M(jìn)行高效公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)的集成旋轉(zhuǎn)模塊，確保氮化硼制品的產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性，提高氣相沉積爐的生產(chǎn)效率。實用新型內(nèi)容本實用新型需要解決的技術(shù)問題就在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種生產(chǎn)氮化硼制品的氣...
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