技術(shù)編號(hào):8848646
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。石墨舟是給太陽(yáng)能電池片中的硅片鍍膜的載體,在進(jìn)行鍍膜時(shí),將插有未鍍膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空鍍膜設(shè)備腔體內(nèi)且利用PECVD工藝進(jìn)行放電鍍膜。鍍膜結(jié)束后,取出石墨舟,將硅片從石墨舟上卸取下來(lái)。目前的石墨舟一般包括石墨舟片、陶瓷管、石墨棒、石墨隔塊等石墨配件構(gòu)成,如中國(guó)專利申請(qǐng)公布號(hào)CN102354676A(申請(qǐng)公布日2012.02.15)公開(kāi)了一種石墨舟,其包括交錯(cuò)分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片;第一石墨舟片、第二石墨舟...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。