技術(shù)編號：8860510
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。超聲噴霧熱解鍍膜是利用超聲波打擊液體，使水柱邊緣產(chǎn)生霧氣，采用載氣將霧氣運輸至加熱的基片，在基片表面沉積薄膜的技術(shù)，非常適合用于制備氧化鋅、氧化錫、氧化鉬等薄膜。相對于其他濕法鍍膜技術(shù)，其優(yōu)勢在于制備的薄膜品質(zhì)較好，雜質(zhì)和缺陷密度低；相對于真空鍍膜技術(shù)，具有低成本、大面積等優(yōu)勢，經(jīng)過一定改進(jìn)，可實現(xiàn)卷對卷(Roll-to-Roll)生產(chǎn)。但是，在現(xiàn)有的超聲噴霧熱解鍍膜裝置中進(jìn)行制備薄膜材料，多數(shù)采用管式爐或固定加熱臺對基片進(jìn)行加熱，薄膜均勻性和厚度難以控制...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。