技術(shù)編號：8879446
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 外延是半導(dǎo)體工藝當(dāng)中的一種。外延片生產(chǎn)是指在單晶襯底（基片）上生長一層 有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶層，猶如原來的晶體向外延伸了一段。外延片就是在 襯底上做好外延層的硅片。因有些制造商只做外延之后的工藝生產(chǎn)，所以購買做好外延工 藝的外延片來接著做后續(xù)工藝。外延爐是在目前用來生長外延片的主要設(shè)備之一，使用范圍相當(dāng)廣泛。它具有全 自動，易操作，易維護(hù)，薄外延的生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)成本低，產(chǎn)品品質(zhì)高的優(yōu)點。隨著市場的 不斷發(fā)展，客戶的要求不管是尺寸，還是外延...
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