技術編號：8907441
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及尚頻振蕩電路，進一步詳細來說，涉及大功率用的尚頻振蕩電路的啟動方法。本發(fā)明的高頻振蕩電路在電感耦合等離子體(ICP)發(fā)光分析裝置、等離子體CVD裝置等利用等離子體的分析裝置、制造/加工處理裝置中，適合作為用于生成并維持等離子體的高頻電源。背景技術在電感耦合等離子體(ICP)發(fā)光分析裝置中，通過對感應線圈供給高頻電力而形成的電磁場，使諸如氬等的等離子體生成用氣體電離而生成/維持等離子體，在該等離子體中導入樣本原子。樣本原子通過等離子體而被激發(fā)，在該...
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