技術編號：8923988
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。薄膜晶體管可以執(zhí)行諸如以開關功能、控制電流或驅動電氣裝置為例的各種功能，薄膜晶體管可以用在各種領域中。發(fā)明內容實施例可以通過提供一種薄膜晶體管來實現(xiàn)，所述薄膜晶體管包括柵電極；有源層，與柵電極絕緣；源電極和漏電極，與柵電極絕緣并且電連接到有源層；第一蝕刻停止層，由絕緣材料形成，并且與有源層的位于有源層的電連接到源電極和漏電極的區(qū)域之間的部分接觸；第二蝕刻停止層，位于第一蝕刻停止層上，第二蝕刻停止層由與用于形成第一蝕刻停止層的絕緣材料相同類型的絕緣材料形成，...
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