技術(shù)編號：8938185
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種加熱器的制備工藝，屬于加熱器制備領(lǐng)域。背景技術(shù)半導(dǎo)體工藝通常需要在較高的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行，而加熱器是實(shí)現(xiàn)所需工藝溫度的關(guān)鍵器件。以CVD為例，加熱器通常位于載盤的下方。通過給加熱器輸入功率，加熱器發(fā)熱所產(chǎn)生的熱量傳輸?shù)捷d盤，使得其達(dá)到所需的工藝溫度。在這些應(yīng)用中，加熱器和載盤通常沒有直接的接觸，所以傳熱方式以輻射和氣流對流為主，在高溫的時(shí)候更主要通過輻射的方式對載盤等部件進(jìn)行加熱。加熱器中的發(fā)熱體部分通常由片狀、棒狀或絞絲狀的具有一定電阻的材料...
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