技術(shù)編號：8969315
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著技術(shù)的進(jìn)步，靶材的設(shè)計逐漸由平面靶材向旋轉(zhuǎn)靶材過渡，因為旋轉(zhuǎn)靶材的材料利用率可以達(dá)到80%，而一般平面靶材利用率只能達(dá)到30% ;對于旋轉(zhuǎn)濺射靶材，由于在濺射使用過程中，管內(nèi)裝有磁鋼，對內(nèi)徑的直線度要求很高，一般要求直線度<0.5mm。目前市場上生產(chǎn)和使用的金屬旋轉(zhuǎn)靶材材料強度較差，管材容易彎曲變形，無法直接作為靶材使用，還需要內(nèi)襯不銹鋼管或鈦管作為支撐。這些金屬管靶在澆鑄、噴涂、擠壓或加工過程中，難免會產(chǎn)生彎曲變形，直線度達(dá)不到使用要求。關(guān)于濺...
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